日耗电3万度 EUV光刻秘密闭机省电?台积电回应了

此前有消息称由于先进工艺产能过剩,台积电计划今年底将部分EUV光刻机关机,以便节省电费支出,台积电日前也回应了,表示不评论市场传闻。

台积电称,本公司针对机台设备皆有年度规划,并依循计划,在不影响正常营运的前提下,进行例行维护与升级。

上周来自产业链的消息人士手机晶片达人的消息称,由于先进制程产能利用率开始下滑,而且评估之后下滑时间会持续一段周期,台积电计划从年底开始,将部分EUV 设备关机,以节省EUV设蓝狮在线备巨大的耗电支出。

据了解台积电目前拥有大约80台EUV光刻机,主要用于7nm、5nm及以下的先进工艺,今年9月份还会量产3nm工艺,都需要EUV光刻机,然而随着PC、手机、显卡等产品的需求下滑,先进工艺生产的芯片势必会受到影响。

相比之前的DUV光刻机,EUV光刻机需要使用高能激光器,而且光线会多次折射导致损耗极大,早期效率只有0.02%,现在量产的说是可以达到2%效率,但也意味着绝大多数电力都要消耗掉。

EUV光刻机生产一天需要3万度电左右,一年耗电大约1000万度,是十足的电老虎。